UHV

超高真空(简称 UHV)在科学技术基础研究的许多实验中是必不可少的。对 UHV 的需求,是因为需要高纯度、最少的颗粒相互作用,而且不能有其他污染物。为了满足上述以及更多的要求,真空压力必须 < 10-5 Pa。要达到此类压力,必须采取整体性的方法。由真空室、泵、真空计和检漏仪组成的整个真空系统,需要以适当的方式配置和规划。

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