二次离子质谱 (SIMS)

质谱分析涵盖一大类化学物质定性和定量分析方法。二次离子质谱 (SIMS) 是其中一种专门用于表面质谱分析的灵敏检测技术。利用栅格聚焦的离子束轰击样品表面,可实现高横向分辨率。

它是如何工作的?
利用高能离子束轰击样品表面。此处称为一次离子的粒子会注入样品表面,在其中释放其动能后,形成级联碰撞。靠近表面的原子从而电离并从样品中溅射而出。通过检测这些所谓的二次离子,即可测定样品成分。在检测之前,还可以使用分析仪来分离不同的质量。例如,该分析仪可以采用 ToF-MS(飞行时间质谱)中使用的飞行管,或者四极杆质谱仪中的四极过滤器。产生的二次离子既可为阳离子,也可为阴离子。不需要额外离子源。

工作原理
工作原理

真空要求
二次离子必须通过分析仪,即质量过滤器,而不可与其他颗粒发生撞击而释放掉其能量,或在设备的某些部件处分离。因此需要在 p < 10-4 hPa 的条件下达到平均自由程,而此条件对于运行四极杆质谱仪也是必需的。这点可以借助具有压力监控功能的合适泵站来实现。总压测量管可防止质谱仪在压力过高的情况下开机。

产品组合
普发真空提供各种干式或油润滑式前级泵和涡轮泵,可以实现必要的工作压力。通常会有配置完成的泵站可供直接集成。此外,普发真空提供种类繁多的真空室、零部件以及压力测量仪,可在您的系统和前级真空管路中使用。

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