光伏

没有真空，就不可能有可再生能源。一个例子是光伏 (PV)，这是一种广为人知的方法，即利用太阳能电池、通过光伏效应，将来自太阳的能量转换为电子流，从而产生电能。太阳能电池技术有多种类型。主要技术之一是基于薄膜沉积或晶体硅晶圆。

太阳能电池的沉积工艺可以通过各种方法实现，例如物理气相沉积 (PVD) 或等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 又或原子层沉积 (ALD)，这些全都需要真空。

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应用案例