A3XN 系列

A3XN 系列干式流程泵设计用于满足腐蚀性介质负荷工艺的要求,并降低了运营成本。与以往的泵技术相比,能源节约最高可达 50%。该系列泵结合了最现代的工艺适用性知识。此外,其结构紧凑,节省空间。这种创新技术可降低维护频率并延长泵送寿命。拥有成本大大降低,工具停机时间也大幅缩短。

A3XN 系列泵可与之前的 A3P 系列完全兼容。

优势

  • 完全耐腐蚀,延长使用寿命和坚固性
  • 在最严苛的腐蚀性应用中,使用寿命延长多至 5 倍
  • 结构紧凑,占地面积小
  • 长久的平均维护间隔时间和节能模式使拥有成本降低
  • 重量轻,易于装配
  • 在中型负载应用上具有高可靠性
  • 匹配半导体生产的需求
  • 扩展的监视功能,可准确控制泵操作条件

应用

  • 半导体工业(蚀刻、高介电)

为腐蚀性中型工艺的高可靠性而设计
该系列干式泵以在中型工艺应用中的高可靠性以及杰出的耐腐蚀性而闻名。该系列泵配有温度传感器和惰性气体冲洗功能。低噪声排放、低振动水平则是 A3P 系列的其他特征。

干式泵,用于半导体行业
A3XN 系列干式泵以成熟的多级罗茨泵技术为基础。泵的内部采用镍涂层技术,对腐蚀性气体具有很强的耐受性。因此,该泵在腐蚀性中型工艺中具有高可靠性。

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