A3P 系列

A3P 系列

A3P 系列干式泵降低运营成本

技术先进,高能效,适用于中等负荷工艺
A3P 是普发真空提供的泵系列,由三款型号组成,该系列的突出特点是大幅降低运行成本。与以往的泵技术相比,能源节约最高可达 50%。该系列泵结合了最现代的工艺适用性知识。此外,其结构紧凑,节省空间。

优势

  • 运营成本极低
  • 小型化
  • 重量轻,组装更轻松
  • 在中型负载应用上具有高可靠性
  • 匹配半导体生产的需求

应用

  • 半导体行业(蚀刻、移植、PVD 等)
  • 光伏

干式泵,用于半导体行业
A3P 系列干式泵以成熟的多级罗茨泵技术为基础。泵内部可耐腐蚀性气体。因此,该泵在中型工艺中具有高可靠性。该系列中的三个可用型号提供了各种不同的抽速,从而满足半导体行业中型应用的大多数要求。A3P 系列适合在无尘室操作,且符合 CE 和 Semi S2 标准。

为中型工艺的高可靠性而设计
该系列干式泵通过在中型工艺应用中的高可靠性而闻名。该系列泵配有温度传感器和惰性气体冲洗功能。而低噪声排放、低振动水平则是 A3P 系列的其他特征。

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