Multi-stage Roots pump A4x Series

A4X 系列

A4X 系列干式泵可应对腐蚀性应用

半导体生产中的严苛型工艺总是向真空泵提出新的挑战。基于成熟而节能的多级罗茨泵技术,A4X 系列提供专为腐蚀性应用而设计的四种不同的干式泵解决方案,抽速从 160 到 3,000 m3/h,各不相同。

A4X 系列可与前任系列泵完全兼容。

优势

  • 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的有限使用而实现高能效
  • 延长使用寿命的耐腐蚀性材料
  • 工作温度范围宽,防止泵的前驱体发生爆裂或可冷凝物沉积。
  • 高故障平均间隔时间和,低拥有成本
  • 高颗粒耐受性提高工具的正常运行时间
  • 准确控制泵操作条件和空闲模式功能的扩展监控功能
  • 符合 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准

应用

  • 半导体产业(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
  • 涂料行业:光伏和 LED

 

针对腐蚀性工艺的优秀解决方案
A4X 系列具有 A4H 系列的所有技术优势和好处,采用耐腐蚀性材料。与 A4H 型号相比,其使用寿命大幅度提高—在某些工艺上提高了 2 倍,降低了拥有成本。

A4X 系列:用于 CVD 工艺的最节能解决方案
得益于其多级罗茨泵技术和高效电机,A4 系列是工艺操作中能耗最低的泵之一。通过结合空闲模式功能和用户友好型转速调整,使用这些干式泵可以将运营成本降至最低。

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