准备使用全氟聚醚 (PFPE) 油的腐蚀性版本

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。

应用领域

  • CVD 涂层
  • 涂层(磨损保护)
  • 半导体技术
  • 研究和开发

客户价值

  • 空间节省且理想适用于系统集成
  • 小尺寸时抽吸能力高
  • 低最终压力
  • 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料
  • 由于化学惰性,工作液使用时间长

Pascal 2010 C2 (10 m3/h)

  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 终端压力极低,特别适用于细真空应用

Pascal 2015 C2 (15 m3/h)

  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 终端压力极低,特别适用于细真空应用

Pascal 2021 C2 (21 m3/h)

  • 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 终端压力极低,特别适用于细真空应用

Duo 35 C

  • 附件齐全,应用灵活
  • 选配磁性联轴器
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 坚固设计,适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔

Duo 65 C

  • 附件齐全,应用灵活
  • 选配磁性联轴器
  • 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成
  • 已针对 PFPE 操作材料准备就绪
  • 使用特殊材料,耐性更高
  • 坚固设计,适用于高要求的工业应用和极长的维护间隔
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