真空技术书籍,第二版

3.3.2.5 COF 法兰

COF 法兰用于超高真空系统的大公称通经连接中。它们可烘 烤,适合压力高达约 1 · 10-12 hPa。它们不是标准化的,因 此在与其他型号法兰结合时,必须测试其兼容性。它们通常 由含碳量低的不锈钢制成,如可能,采用锻造工艺。

COF 连接包括一对不同外形(公、母)的法兰,一个线型密 封件和足够数量的螺丝钉,它们提供所需的高接触压力 (图3-16)。法兰可围绕主孔轴与钻孔间距对准。从无氧铜 OF( 无氧)焊接而成的线圈作为密封材料。

在装配过程中,将密封件紧紧插入“公”测的切口。两种型材的 密封面将铜环包围。在切口上发生挤压。冷流动受到“公”法兰 垂直内壁的限制,因此在边界层产生非常高的压力。在高压 下,微观结构的铜调整到切口并填补小的表面瑕疵,由此产 生金属超高真空密封连接。以前用过的铜线不能重复使用。 对于压力不高于达约 1 · 10-8 hPa时,可以使用 FKM 制成的 密封件。它们通常不能重复使用,但可以进行快速安装,比 如在系统调平需要频繁安装法兰时。

在安装过程中,最初要完全均匀的对螺丝钉进行紧固,以避 免任何应力,这很重要。接着,应按顺序对螺丝钉进行紧 固,若干步骤后,一步一步,直到将铜以超高真空密封方式 连接到密封面。烘烤时,必须确保加热和冷却平稳,不要太 快。法兰连接上的温差将导致产生应力,可能引发泄漏。

具有铜线和螺丝钉的 COF 连接

图 3.16: 具有铜线和螺丝钉的 COF 连接