真空技术书籍,第二版

3.7.1.4 密封的弹性体旋转和平移

对于承受动态应力的真空适用密封件,使用特殊的弹性体密 封件,其往往由 FKM(含氟弹性体)材料制成。壳体、密封 件和驱动器轴之间限制尺寸的调整必须谨慎进行,同样也适 用于表面处理的设计与实现。

为了应对频繁的运动以及增强密封效果,弹性体密封件必须 在 运动接触点处进行润滑,从而减少摩擦、防止过早磨损, 以及校 平表面上的细微不平整。选择合适的真空润滑脂或 油,除了考虑最高的操作和烘烤温度外,还必须考虑其它特 性,特别是蒸气压。

弹性体贯通密封件只可部分烘烤。此外,必须检查成分中含 有的润滑脂或少量的有机物是否与应用兼容。在考虑这些局 限性 时,如果对真空质量上的要求不是很高,弹性体机械密 封件则可用于替代那些功能原理更优越的昂贵设备。

采用通轴的连续执行器的优势是大气侧的驱动器直接连接到 真空侧应用,而在。没有定位误差作或载荷误差。根据执行 器轴的尺寸和安装,也可移动较大的负载。

凭借弹性体密封件,可实现旋转和直线运动以及旋转与直线 同时运动的密封。

弹性体密封的旋转式馈通
  1. 壳体
  2. 带槽球轴承
  3. O 型圈
  4. 径向轴密封环
  5. 真空润滑脂箱

图 3.27: 弹性体密封的旋转式馈通