真空技术书籍,第二版

4.1.6 气镇

空气或其他非冷凝气体通过某种方式被允许进入真空泵,该 方式被称为气镇。如果泵内存在相应温度下无气镇会冷凝的 蒸汽,则气镇使出口阀在蒸汽冷凝前打开,且蒸汽与镇流气 体一起被排出。大气以及所选惰性气体被用作镇流气体。气 镇的使用会略微增加真空泵所能达到的本底压力。 因此,对于气镇真空泵,同时规定有气镇和无气镇的本底压 力。