真空技术书籍,第二版

4.1.8 密封气体

当抽吸腐蚀性气体时,存在气体可能破坏泵部件的风 险。 为 了避免该危险,敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起 来。 因此,泵体内设有特殊的进气系统,凭借该系 统,气体 在规定的位置流入泵系统。 在涡轮分子泵中,主要是轴承和 电机舱需要保护。 在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性 气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防 止灰尘和粒子进入润滑剂腔、与润滑剂混合。使用密封气体 可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触, 也 建议免润滑的涡轮分子泵使用

除轴承密封气体外,干式前级泵也有净化气体注入嘴可注入 泵内。 净化气体流量使用校准喷嘴上游的压力调节器或流量 调节器 (质量流量控制器或 MFC)进行调节,以及通过压力 传感器和开关进行监控。