4.9.3.2 主动磁悬浮涡轮分子泵
表 4.22 包含带有 5 轴主动磁悬浮轴承的涡轮分子泵的特点。
这些泵液可用作：
- 带 ISO-K 或 ISO-F 法兰的 HiPace® M：HiPace 涡轮拖 式泵，具有 Holweck 级，用于产生标准应用的高真空
- 带 CF 法兰的 HiPace® M：HiPace 涡轮拖式泵，具有 Holweck 级，用于产生超高真空
- ATP M：无 Holweck 级的经典涡轮分子泵，具有轻型气体 的高压缩比，粒子耐受性高
- ATH M 和 MT：有 Holweck 级的涡轮拖式泵，密封气体 系统和加热，适用于腐蚀性气体应用
图 4.30: ATH M 磁悬浮涡轮分子泵
| 磁悬浮涡轮分子泵 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 压缩比 | 气体吞吐量* | 应用 |
| HiPace 300 M | 255 l · s-1 | > 1 · 1011 | 28 hPa · l · s-1 | 分析、涂料、研发 |
| ATH 500 M / MT | 520 l · s-1 | > 2 · 107 | 67 hPa · l · s-1 | 半导体、涂料、研发 |
| HiPace 700 M | 685 l · s-1 | > 1 · 1011 | 13 hPa · l · s-1 | 分析、涂料、研发 |
| HiPace 800 M | 790 l · s-1 | > 1 · 1011 | 13 hPa · l · s-1 | |
| ATH 1603 M | 1,370 l · s-1 | > 6 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | 半导体、涂料、研发：玻璃涂层、太阳能电池的制造、表面处理、CVD、PVD/溅射、离子注入、等离子体物理 |
| ATH 1600 MT | 1,370 l · s-1 | > 5 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2303 M | 1,950 l · s-1 | > 1 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2300 MT | 1,950 l · s-1 | > 1 · 108 | 67 hPa · l · s-1 | |
| ATP 2300 M | 1,850 l · s-1 | > 1 · 108 | 37 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2800 M | 2,150 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 2800 MT | 2,150 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 3200 M | 2,700 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
| ATH 3200 MT | 2,700 l · s-1 | > 1 · 108 | 84 hPa · l · s-1 | |
*) 气体吞吐量取决于驱动器。
图 4.22: 针对氮的磁轴承涡轮分子泵的性能数据
