4.2.3.2 二级旋片式真空泵
两极旋片式真空泵适合于压力低至 10-3 hPa 的低、中真空范 围的应用。集成的气镇供给使得冷凝蒸汽可以被排出。
DuoLine
DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。除标准模式外，也提供以下设计：磁耦合泵（Duo M 系 列）和腐蚀性气体泵，都具有和不具有磁耦合（Duo MC 系 列）。
Duo M 系列
M 系列泵配备了磁耦合，具有严密的密封性。这种无磨损密封 概念对泵进行了严密的密封，使它们既干净又环保。磁耦合最 小化了保养，产生明显的节省。
| DuoLine | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 1,6 | 1.25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | Turbopump pumping stations, analysis, research and development, coating |
| Duo 3 | 2.5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 | 115 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 255 | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
图 4.4: DuoLine 性能数据
| Duo M 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 1,6 M | 1.25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | 涡轮分子泵站、分析、研发、涂料、非爆炸性有毒气体 |
| Duo 3 M | 2.5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 M | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 M | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 M | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 M | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 M | 115 m³ · h-1 | 2 . 10-3 hPa | |
| Duo 255 M | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
图 4.5: Duo M 系列的性能数据
Duo MC 系列
MC 系列泵适用于腐蚀性气体应用。与标准泵相反，它们具 有特殊的气镇阀，惰性气体可通过该阀进入泵体。此外，该 泵配备了特殊的叶片，该叶片尤其耐化学制品。MC 系列中 所有腐蚀性气体泵可用于使用耐化学腐蚀的 F4 或 F5（全氟 聚醚）工作液的操作。Duo MC 系统泵尤其适合于抽吸有毒 气体，因为密封严密的磁耦合可防止气体泄漏到外部。
Pascal
Pascal 系列中抽速等级在 5 和 21 m3 · h-1 之间的旋片式真 空泵内建有交流或直流电动机。入口和出口法兰可垂直或水 平完美结合或使配件可以连接。除标准范围外，也可提供具 有强制润滑和两个不同腐蚀性气体的 I 系列。
SD 系列
旋片式真空泵 SD 系列专为非腐蚀性气体而设计。天然润滑（抽速等级达 21 m3 · h-1) 排气装置的排油量。在长期操作 过程中，泵的低温能够将最终压力下的回流减少到最低。
正如其他泵中抽速等级达 21 m³ · h-1 一样，该泵轴封可接 近，而无需拆卸泵体，因此现场保养非常容易。
I 系列
I 系列泵配备了强制润滑。与 SD 系列相比，这提高了水蒸汽 耐受性。强制润滑使 I 系列可以实现非常低的噪音水平和低 振动。
C1 系列
由于 FPM 密封件和氧化铬涂层轴以及壳体、叶片、轴套和视 镜使用特殊材料，C1 系列中的强制润滑泵特别适合于腐蚀性 的气体应用。本系列中两个最大的机型还集成了油过滤器和 油液套管冲洗装置。
C1 系列配有矿物油。
| Duo MC 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 20 MC | 20 m³ · h-1 | 5 · 10-3 hPa | 腐蚀性气体应用、化学实验室、非爆炸性有毒气体 |
| Duo 35 MC | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 MC | 62 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
图 4.6: Duo MC 系列的性能数据
| Pascal SD 系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | 50 Hz 时的抽速 | 60 Hz 时的抽速 | 极限压力 | 带气镇的最终压力 | 应用 |
| 2005 SD | 5 m³/h | 6 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | 工业应用、分析、研发、泄漏检测 |
| 2010 SD | 9 m³/h | 10.5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2015 SD | 14 m³/h | 16.5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2021 SD | 18 m³/h | 22 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
图 4.7: Pascal SD 系列的性能数据
| Pascal I 系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | 50 Hz 时的抽速 | 60 Hz 时的抽速 | 极限压力 | 带气镇的最终压力 | 应用 |
| 2005 I | 5 m³/h | 6 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | 分析、研发、干燥、蒸馏 |
| 2010 I | 9 m³/h | 10.5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2015 I | 14 m³/h | 16.5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2021 I | 18 m³/h | 22 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
图 4.8: Pascal I 系列的性能数据
C2 系列
C2 系列泵也配备了强制润滑。这些泵防腐蚀性气体设备、泵 具有轴承润滑、用于工作液脱气的中性气体冲洗设备以及特 殊叶片材料的使用使其优于 C1 系列。该系列中两个最大的 机型也配备了油压力传感器和油温传感器的连接。有了这种 防腐蚀性气体设备，Pascal C2 泵特别适合于半导体制造中 蚀刻和涂层工艺的使用。
C2 系列配有全氟化的工作液。
| Pascal C1 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| 2005 C1 | 5 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 腐蚀性气体应用、化学实验室、预真空锁和传输室化学应用、杀菌 |
| 2010 C1 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2015 C1 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C1 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C1 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C1 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
图 4.9: Pascal C1 系列的性能数据
| Pascal C2 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| 2010 C2 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 涂料、半导体（CVD、等离子刻蚀、注入）、抽吸纯净氧 |
| 2015 C2 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C2 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C2 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C2 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
图 4.10: Pascal C2 系列的性能数据
| 油类型 | 描述 | 可实现的极限压力 | 应用 | HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, OktaLine | Pascal |
|---|---|---|---|---|---|
| P3 | 标准应用的矿物油极低蒸气压 | < 1 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、稀有气体 | ||
| A120 | 无添加剂的一般用途矿物油，用于50 Hz 的多用途油 | < 3 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、稀有气体；高粘性 | ||
| D1 | 标准应用和特殊应用的二酯油 | < 5 · 10-2 hPa | 空气、非腐蚀性气体、稀有气体、氧、轻度腐蚀性有机溶剂 | ||
| A155 | 有机酯基合成油 | < 3 · 10-3 hPa | 烃类蒸汽、NH3, R134a、致冷剂；抗氧化、耐聚合（少量沉积物） | ||
| F4 | 特殊应用的全氟聚醚 | < 1 · 10-3 hPa | 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCl、BF3、HF | 用于 < 20 m³ h-1的泵 | |
| F5 | 用于 > 20 m³ h-1的泵 | ||||
| A113 | 全氟聚醚合成油 | < 5 · 10-3 hPa | 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、耐腐蚀性气体能力强、适合于等离子刻蚀 | ||
| A119 | 无添加剂的一般用途矿物油，用于60 Hz 的多用途油 | < 3 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、稀有气体；低粘性，因此在低温下具有良好的启动性能 | ||
| A121 | 具有抗氧化添加剂的双蒸矿物合成油 | < 3 · 10-3 hPa | 在气压下循环抽吸，适用于高温和高压，耐酸性和有机蒸汽；不适合用于等离子刻蚀 | ||
| A102 | 具有抗乳化剂的矿物油 | < 3 · 10-2 hPa | 油水分离（抗乳化性）、水蒸气干燥和抽吸、冷冻干燥 | ||
| A111 | 有添加剂的碳氢化合物抗乳化矿物油 | < 1 · 10-2 hPa | 气体循环和气体回流；氧化敏感（不适合于气压下的频繁循环） | ||
| A200 | 温度稳定的矿物合成油 | < 2 · 10-3 hPa | 耐腐蚀性气体和电离等离子体；少量回流 | ||
| A300 | 无添加剂的双蒸馏白色矿物油 | < 5 · 10-3 hPa | 高抗腐蚀性气体和电离等离子体；耐卤素和路易斯酸；少量回流 |
图 4.11: 前级泵和罗茨泵的油类型
