真空技术书籍,第二版

4.6.2 应用

适用于腐蚀性气体的多级罗茨泵的优势包括:

  • 通过调节温度、净化气体流量和转速对相关真空工艺进行 理想的调节
  • 在气体抽气腔内没有润滑剂
  • 无工作液处理问题
  • 高可靠性和系统正常运行时间
  • 长维修间隔、低能耗和冷却水与冲洗气体介质消耗低, 因此具有较低的运行成本
  • 占用空间小,具有良好的集成性和节能性
  • 丰富的控制选项,本地或远程控制,集成在一个监控网络 中
  • 最小泄漏率
  • 在腐蚀性工艺中是涡轮分子泵和罗茨泵理想的前级泵
  • 符合 UL/CSA 和 SEMI S2认证要求

灰尘和粒子

流程泵接触从工艺室和前真空管道被输送到泵中的粒子。此 外, 泵本身内副产物反应的冷凝可能产生的粒子和沉淀物必 须也能容忍。 理想情况下,通过使用可调节加热和控制温度 模式,可避免粒子和沉积物的形成。 通过在垂直方向抽吸, 任何从泵级中掉出的粒子保留在下一级的排污口通道中。 在 接下来的排气和随后的抽空之后,粒子将通过气体被排入到 紧接着的下一级中。 此排除机构将生成的 98% 以上的粒子从 入口排出到出口。这意味着, 可在泵出口处提供一个中央排 气净化系统,它不仅捕捉和处理过程化学物质, 而且捕捉和 处理粒子。在腐蚀性、毒性和可冷凝介质的真空解决方案中 是可能的, 就可避免进气侧上使用高保养阱和过滤器。

腐蚀性气体

P 和 H 系列的多级罗茨泵专为半导体、太阳能和涂层行业中 腐蚀性气体过程而设计。 金属转子和定子以及泵的弹性体材 料均是由高度耐腐蚀材料制成的。

泄漏率

高气密性以及防止气体通过止回阀从周围空气或排气净化系 统回扩的性能使得多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的完美解 决方案。封装电机也是防漏概念的一部分。