真空技术书籍,第二版

1.3.5 残余气体组成

在超高真空中工作时,重要的是,在开始真空工艺之前或为 了监控工艺过程,需要了解残余气体的组成。如果水的百分 比 (m/e = 18) 及碎片 OH (m/e = 17) 含量很大,那么多是在真 空室不清洁或烘烤不彻底的原因。如果氮 (m/e = 28) 和氧 (m/e = 32) 的-峰值之比 N2/O2大约为4:1,那么可以判定存 在氮泄漏。

可在充分烘烤的腔室中,可以发现氢 (m/e = 2), 水 (m/e = 17 and 18), 一氧化碳 (m/e= 28) 和二氧化碳 (m/e = 44)。 在使用涡轮分子泵时,不会发现碳氢化合物。因为分子泵对 大分子量气体具有大压缩比, 它们有效地抽除在腔室之外。通过涡轮分子泵抽空的清洁容器的典型残余气体谱所图 1.10 所示。

通过涡轮分子泵排空容器的典型残余气体谱

图 1.10:通过涡轮分子泵抽空容器的典型残余气体谱

有关使用质谱仪的更多信息见第 6 章“质谱仪和残余气体分 析”。