屏蔽的密封气体阀（常闭）

本设备用于降低一些工艺流程中的净化气体流量, 与配有净化阀的泵一起使用, 流量降低到 50 sccm

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于自带 TC 1200 的 HiPace 2800 / 3400, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于自带 TC 1200 的 HiPace 2800 / 3400, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

密封塞用于带密封圈的密封气体接口（用于 ATH 500 M）, 可连接密封塞代替过滤器

气体密封阀仅适用于 ATH 500 M（不用于 MT 版本）, 阀门由客户方驱动, 由 24 V DC 驱动

密封气体保护泵轴承, 推荐用于腐蚀性应用, 当检查气密性时，可以隔断此阀门的通路, 50 sccm

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于带有TC 400 的 HiPace 400/700/800 P 和 C, 适用于配备 TC 1200 的 HiPace 1200 – 2300, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于带 TC 110 的 HiPace 30/60/80 和 Splitflow 50, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 使用 M8 插头可以直接连接到连接电缆的附属输出端，带端口 (PB, E74, RS) 的 TCS 12/13 和 TC 110

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于带 TC 110/120 的 HiPace 300, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 可采用 M8 插头从接线电缆、 TC 110/120 以及 TC 110/120配件输出端与接口(PB、E74、RS)直接相接