HiPace®

이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증

N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, 분석 및 산업 응용분야에 이상적임, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, 분석 및 산업 응용분야에 이상적임, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 통합형 드라이브 전자장치 TC 400, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음, 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함, 빠른 사이클에 적합, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 통합형 드라이브 전자장치 TC 400, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음, 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함, 빠른 사이클에 적합, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

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