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HiPace 2800

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  • HiPace 2800
    HiPace® 2800 IT

    menu 2 verfügbare Varianten
  • HiPace 2800
    HiPace® 2800 IT mit TC 1200, DN 250 ISO-F

    Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung

    PM P05 241
  • HiPace 2800
    HiPace® 2800 IUT mit TC 1200, DN 250 ISO-F, DN 40

    Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung

    PM P05 246
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